Stichprobenmessungen von Umgebungs bedingungen
Stichprobenmessungen vor Ort sind eine gängige Methode, um die Messgenauigkeit eines stationären...
Verringern Sie das Risiko, dass Umgebungsbedingungen die spezifizierten Toleranzgrenzen über- bzw. unterschreiten, und gewährleisten Sie die Auditierbarkeit und Compliance Ihrer pharmazeutischen und biotechnischen Reinräume.
Mit unseren leistungsfähigen Messgeräten und stabilen Lösungen erfüllen wir Ihre Anforderungen im Reinraum-Bereich und tragen dazu bei, dass Ihre Anlagen einwandfrei arbeiten.
Reinräume müssen durchgehend einen Überdruck gegenüber Nachbarbereichen aufweisen, aus denen kontaminierte Luft einströmen könnte. Dies fordert nicht nur die einschlägige Norm ISO 14644-4; jedem Fachmann ist bekannt, dass sich die Luftverhältnisse schnell verschlechtern können, wenn der Überdruck auch nur vorübergehend auf wenige Pascal ...
Ein Berater erhielt von Vaisala eine HPP272-Sonde in Kombination mit dem Indigo 201-Sender zu Testzwecken. In seiner Arbeit qualifiziert er nicht nur Geräte und Umgebungen, sondern entwickelt auch Biodekontaminationszyklen und -protokolle, um Unternehmen dabei zu helfen, die Konsistenz und Effizienz ihrer Prozesse sicherzustellen. Als er die Möglichkeit erhielt, die Vaisala-Wasserstoffperoxid-Sonde in Kombination mit dem Indigo 201-Messumformer zu evaluieren, verglich er sie mit seinem aktuellen...
Die Wirbelschichttrocknung ist eine sehr effektive Methode zur Trocknung fester Partikel. Die Oberfläche jedes einzelnen Partikels wird zum Trocknen freigelegt, indem sie im Luftstrom suspendiert wird, was zu einer besseren Wärmeübertragung und einer verkürzten Trocknungszeit führt. Eine homogene Produkttemperatur und eine gleichmäßige Trocknung des Produkts werden durch kontinuierliches und gründliches Mischen und Regeln der zu- und abströmenden...
Ob bei der Herstellung von Mikrochips oder der Endmontage integrierter Schaltungen – präzise Messungen sind der Schlüssel zu hoher Qualität und reproduzierbaren Ergebnissen. Besonders entscheidend ist dabei die Kontrolle der Luftfeuchtigkeit.
Ein kontrolliertes Umfeld – entscheidend im Nanobereich
Im Nanometermaßstab können selbst minimale Abweichungen schwerwiegende Konsequenzen haben. Halbleiterkomponenten wie Chips und Leiterplatten sind äußerst empfindlich gegenüber Feuchtigkeit – daher müssen Umgebungsbedingungen mit höchster Genauigkeit überwacht und geregelt werden. Wasser zählt zu den bedeutendsten Kontaminanten in der Halbleiterfertigung; ungünstige Feuchtigkeitsverhältnisse sind laut Schätzungen für bis zu 25 % Umsatzverlust verantwortlich.
Zuverlässige Sensoren spielen daher eine zentrale Rolle – eine kleine Investition mit großer Wirkung, die dafür sorgt, dass Anlagen und Produktionsumgebungen innerhalb optimaler Toleranzen arbeiten.
Wafer-Politur & -Reinigung
In dieser Phase herrscht hohe Luftfeuchtigkeit, kombiniert mit aggressiven Chemikalien – beides stellt eine Herausforderung für präzise Messungen dar. Die kompakte Sonde HMP9 eignet sich hervorragend durch ihre schnelle Reaktionszeit, chemikalienresistente Bauweise und eine integrierte Reinigung durch chemische Ausgasung. Für OEM-Anwendungen bietet sich das HMM170-Modul zur einfachen Integration an.
Wafer-Beschichtung & -Belichtung
Lasergestützte Systeme reagieren sensibel auf kleinste Umgebungsabweichungen. Die modulare Plattform Indigo520 in Verbindung mit der HMP3-Sonde, die sich werkzeuglos austauschen lässt, eignet sich ideal für Reinraumumgebungen. Weitere Messgrößen wie CO₂ oder Taupunkt können flexibel ergänzt werden.
Wafer-Vereinzelnung & -Test
Taupunkt und Luftfeuchte müssen hier präzise überwacht werden, um Kondensation während sensibler Phasen wie dem Entfernen von Tape oder dem Hochtemperatur-Test zu vermeiden. Kompakte Sensoren wie der DMT143 (–70 °C bis +60 °C) oder der DMT152 (für extreme Trockenheit bis –80 °C Taupunkt) bieten Autokalibrierung und lassen sich problemlos in Maschinen integrieren.
Prozessgas-Überwachung
Prozessgase wie Stickstoff und Argon müssen absolut trocken sein, um Kontaminationen zu vermeiden. Die DRYCAP®-Sensoren von Vaisala bieten schnelle Reaktionszeiten, hohe Langzeitstabilität durch Autokalibrierung sowie präzise Messungen in Kombination mit polierten Edelstahlsamplingzellen.
Ein konsequentes Feuchtemanagement schützt nicht nur Anlagen und Prozesse, sondern steigert auch die Produktqualität und Produktionsausbeute. Mit hochwertigen Sensoren und Transmittern lassen sich feuchtigkeitsbedingte Risiken minimieren, Betriebskosten senken und die gesamte Fertigung effizienter gestalten.
